VOC廢氣處理工藝方法有：噴淋+等離子、噴淋+UV光解、噴淋+光解等離子、微生物法、RCO燃燒法、濃縮回收法 。在實際工程運用中，針對小氣量低濃度的場所可以考慮微生物法。具有易燃性質的廢氣，一般建議采用噴淋預處理后再配套其他處理工藝。
VOC廢氣處理各種工藝的優缺點:
1、噴淋+等離子
采用的核心原理是等離子場分解，優點：設備占地面積小，主要針對低濃度；缺點：有一定的安全隱患，凈化效果不穩定。
2、噴淋+UV光解
采用的核心原理是臭氧分解，優點：凈化效果高，處理效果穩定，主要針對中低濃度；缺點：需控制氧化停留時間。
3、噴淋+光解等離子
采用的核心原理是復合臭氧和等離子，優點：凈化效率高，主要針對中等濃度；缺點：有一定的安全隱患。
4、微生物法
采用的核心原理是生物降解，優點：沒有二次污染，設備能耗小；缺點：運行操作要求高，設備體積大，需要定期補充微生物，維護成本高。
5、RCO燃燒法
采用的核心原理是高溫燃燒，優點：主要針對高濃度有機廢氣，污染成分分解*；缺點：能耗高，運行操作要求高，設備體積大，有一定的安全隱患。
6、濃縮回收法
采用的核心原理是萃取濃縮，優點：主要針對成分單一的廢氣回收有價值的成分，有經濟效益；缺點：操作性要求高。
在實際工程運用中，針對小氣量低濃度的場所可以考慮微生物法。具有易燃性質的廢氣，一般建議采用噴淋預處理后再配套其他處理工藝。
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